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白光干涉儀ZeGageplus 光學輪廓儀

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上海洛豐精密檢測儀器有限公司

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產品簡介

ZeGage Plus系列的3D光學表面輪廓儀可以提供強大的多功能的非接觸式光學表面形貌測量分析。所有的測量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強大的分析軟件可以極其精準的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關鍵尺寸和其它形貌特征。

詳細介紹

系統參數：

◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀

◆掃描裝置: 長范圍 Z 軸調節

◆物鏡: 1X - 50X 放大：標準工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；長工作距離：1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數表

◆視場: 跟所選物鏡有關

◆光源: 長壽命白光 LED，計算機控制光強

◆物鏡安裝：直接螺紋安裝（標配）；單物鏡楔形座安裝（選配）；手動或電控 4 位物鏡塔臺（選配）

◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦

◆測量陣列: 1024×1024，512×512,256×256,1024×160

◆樣件觀察: Mx 軟件集成實時觀察

◆Z 軸: 100mm 行程，主機頭具有兩種可選安裝高度，以優化工作距離

◆樣品臺控制: USB 控制器

◆安全性: 系統集成緊急制動功能

◆樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°，集成 T 型槽板利于固定附件（標配）手動型：XY 平移 50 x 100 mm（-01，-11）；電動型：

XY 平移 100 x 100 mm（-02，-12）

◆計算機: i5 級別 PC，23 寸顯示器 1080p

◆軟件: ZYGO Mx 軟件，Windows7（64 位）

◆尺寸（HWD）: 系統：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主機：82x53x53cm

◆重量: ZeGage Plus主機：54Kg; 工作臺：37Kg

性能：

◆縱向掃描范圍：≤ 20 mm，(受限于物鏡工作距離)

◆表面形貌重復性：＜0.15nm

◆光學分辨率（橫向）：0.52um （50x 物鏡）

◆空間采樣： 0.17um（50x 物鏡）

◆掃描速度： ≤ 73 um/秒

◆臺階高度重復性：≤0.3%@1σ

◆臺階精度： ≤ 3%

被測樣品特性：

◆材料：各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射

◆尺寸（HWD）：87 x 100 x 100mm 標準主機頭位置；147 x 100 x 100mm 主機頭加高采用局部覆蓋放置可以測試更大的樣品

◆反射率：0.05%-99%

環境要求：

◆溫度： 15-30℃ ＜1.0°C/15 分鐘

◆濕度：相對濕度 5%-95%，無凝結

◆隔振：包含隔振，要求隔離 1-120Hz 振動

◆振動準則： VC-C 或有更好的推薦

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