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廣州文明機電有限公司
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的JSM-7610F的光學系統經過改進，實現了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統，提供穩定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式
二次電子像分辨率 | 0.8 nm（加速電壓 15 kV），1.0 nm（加速電壓 1 kV ） | ||
倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） | ||
加速電壓 | 0.1 ～ 30 kV | ||
探針電流 | 數 pA ～ 200 nA | ||
電子槍 | 浸沒式肖特基場發射電子槍 | ||
透鏡系統 | 聚光鏡（CL）、 光闌角控制鏡（ACL）、 半浸沒式物鏡（OL） | ||
樣品臺 | 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動 | ||
電子檢測器系列 | 高位檢測器、 r‐過濾器 內置、 低位檢測器 | ||
自動功能 | 自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調節 | ||
圖像觀察用 | 屏幕尺寸 23英寸寬屏 | ||
抽真空系統 | 電子槍室／中間室 SIP 離子泵 | ||
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