當前位置：上海貝丁漢工業自動化設備有限公司>> 雙頻激光干涉儀ZLM700
產品功能
定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量，還能夠測量數控機床回轉臺的定位精度和重復定位精度等，從而實現定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統的校準和測量，廣泛應用于高速動態加工工藝中的機械定位和系統控制。
性能優勢
技術參數
| 型號：ZLM700 | 使用高性能數據處理器AE950 PCI |
| He-Ne激光平均波長： | 632.8 nm |
| 激光穩頻精度： | 一小時2x10-9（±0.002ppm） 壽命內2x10-8（±0.02ppm） |
| 系統精度（0-40℃時）： | ±0.4ppm |
| 光束直徑： | 6mm （可選3.2mm） |
| 激光管突發zui大輸出功率： | 1mW （激光等級2） |
| 每束光可測量的軸數： | 1 |
| 線性測量距離： | 40m，可擴展為120m |
| 角度測量范圍： | ± 15°，20m軸線范圍 |
| 平面度測量范圍： | 20m行程 |
| 直線度測量范圍： | ± 5mm，2m或10m行程， 選用角度干涉儀可測30m行程 |
| 垂直度測量范圍： | ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀 |
| zui大速度： | 4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度 |
| zui大加速： | 無限制 |
| zui高采樣頻率： | 內部1MHz，外部40MHz |
| 預熱時間： | 10分鐘 |
| 精度/非線性： | ±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡） |
| 距離測量分辨率： | 0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選 |
| 距離測量精度： （20°±0.5°） 使用AUK時 （20°±0.5°） 真空中時 | ±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m） |
| 線性度測量分辨率： | 0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選 |
| 線性度測量精度： （20°±0.5°） 使用AUK時 （20°±0.5°） 真空中時 | ±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m） |
| 速度測量精度： | ±0.5ppm實測值 |
| 角度測量分辨率： | 0.015μrad （3x10-3 弧秒） |
| 角度測量精度： | ±0.1ppm實測值 |
| 平面度測量分辨率： | 0.015μrad （3x10-3 弧秒） |
| 平面度測量精度： | ±0.2%實測值 ±0.05 弧度/米運行距離 |
| 直線度測量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 直線度測量精度： | ±0.5%實測值，2m行程 ± 2.5%實測值，10m行程 |
| 垂直度測量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 垂直度測量精度： | ±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒* |
| 數據接口： | 積分信號 32 Bit （實時時間） Dt » 20 ns |
| 數據分析標準： | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
| 工作環境： | 溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝 |
| 儲存環境： | 溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝 |
應用光路圖
以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動角測量示意圖
以上是回轉臺定位精度測量示意圖
資料下載
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