當前位置：上海貝丁漢工業自動化設備有限公司>> 位移激光干涉儀ZLM800
產品功能
ZLM800多軸路同步測量激光干涉儀——真正的雙頻激光干涉儀，主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監測、運動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機幾何量的測量、數控機床幾何量的測量等，zui多可實現六軸聯動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關系檢測物體的振動變化。
1.納米級的多軸聯動位移、速度、加速度的動靜態測量分析及運動控制環同步測量校準；
2.同步實時測量多軸聯動驅動部件的俯仰、扭擺、滾動的角位移變化, X-Y-Z 軸的聯動插補位移誤差及驅動匹配誤差分析；
3.納米級振動的多軸向同步數據采集測量和分析。
性能優勢 技術參數
32 Bit （實時時間）
數據延時< 20 ns
應用案例
資料下載
復雜光路測量的應用.pdf系統應用簡介.pdf
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