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深圳市中圖儀器股份有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 激光干涉儀,測(cè)長(zhǎng)機(jī),測(cè)長(zhǎng)儀,輪廓測(cè)量?jī)x,壓力校驗(yàn)儀 |
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深圳市中圖儀器股份有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 激光干涉儀,測(cè)長(zhǎng)機(jī),測(cè)長(zhǎng)儀,輪廓測(cè)量?jī)x,壓力校驗(yàn)儀 |
| 參考價(jià) | ￥ 980000 |
| 訂貨量 | 1臺(tái) |
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更新時(shí)間：2023-02-08 11:50:32瀏覽次數(shù)：263
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中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)，所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
1) 設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能；
2)一體化操作的測(cè)量與分析軟件，操作無(wú)須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。
3)提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過(guò)濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
4) 提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度分析包括依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測(cè)量和直線度、圓度形位公差評(píng)定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板，結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
型號(hào)：VT6100
行程范圍：100*100*100mm
視場(chǎng)范圍：120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測(cè)量重復(fù)性(1σ)：12nm
高度測(cè)量精度：± (0.2+L/100) μm
高度測(cè)量分辨率：0.5nm
寬度測(cè)量重復(fù)性(1σ)：40nm
寬度測(cè)量精度：± 2%
寬度測(cè)量分辨率：1nm
外形尺寸：520×380×600mm
儀器重量：50kg
高精度、高重復(fù)性
1）以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)，保證儀器的搞測(cè)量精度；
2）儀器的隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲，在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠，具有良好的測(cè)量重復(fù)性。
VT6000共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
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VT6100共聚焦三維表面形貌測(cè)量顯微鏡 ¥ 950000
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VT6100共聚焦晶圓溝槽輪廓尺寸測(cè)量顯微鏡 ¥ 950000
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VT6100白光共聚焦3d顯微鏡 ¥ 950000
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VT6100高分辨率工業(yè)用共聚焦顯微鏡 ¥ 950000
