工作原理

Colibrì系統(tǒng)*由微控制器控制。 利用該系統(tǒng)，可以簡單地通過執(zhí)行可由用戶編輯的9個配方中的一個來執(zhí)行處理。 使用高精度針閥，將受控的氣流引入處理室。 將低頻信號（50kHz）施加到腔室內(nèi)的電極，這與氣體分子相互作用從而觸發(fā)等離子體。 產(chǎn)生的等離子體提供與待處理基板表面的*單層相互作用的反應(yīng)離子物質(zhì)。 通過對工藝參數(shù)（氣體流量，信號強度，持續(xù)時間......）進行處理，可以改變生成的過程。

產(chǎn)品功能

?臺式等離子系統(tǒng)，簡單通用
?多可處理十種不同的可編輯配方

?*結(jié)果的*性
?*可靠性
?使用主要品牌組件

技術(shù)規(guī)格

尺寸         寬 x 長 x 高       450 x 370 x 180 mm

凈重               16 Kg （不含真空泵）

凈空               右，左，前 - 600mm，后 - 300mm