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萊蕪承接集成電路凈化車間安裝工程

針對集成電路生產環境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級是依據可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。

舉個例子，集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

無塵車間空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區             ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區   ISO 4級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區   ISO 6級

萊蕪承接集成電路凈化車間安裝工程，對于潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

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