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微波真空設備可用于各種真空包裝的麻辣食品、豆制品、素雞、素肉等的殺菌，以該機為例殺菌量每小時100kg以上，相比蒸汽殺菌鍋可大大節省時間和能源，而且微波殺菌不需要高溫，*不改變食品的成分和口味。

真空冷凍干燥(FD脫水)產生于1909年，用于生物材料及生物組織的研究。微波真空冷凍升華干燥(MD脫水)源于二戰期間，當時戰爭需要大量新鮮血液制品，而在儲存、運輸環節存在許多棘手問題無法克服；另外，抗生素的生產也需要采用凍干技術。

因戰爭需要，科學家提出一項研究工程，即“血漿不變性冷凍真空微波升華脫水研究工程"，簡稱“血漿工程"。把剛抽出的新鮮血漿在極短的時間內速凍成冰塊，然后在真空條件下，施以微波升華干燥、脫水成干血粉(含水量約1％)，用鋁箔復合袋避光密封，保質期可達兩年以上，運到前方加定量的無菌蒸餾水稀釋即可當新鮮血漿注射。這項工程開創了微波升華脫水干燥步入實用的先河。