日本電子掃描電子顯微鏡JSM-6510A/JSM-6510LA型與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統合于一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統的電腦控制，操作員只用一只鼠標，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。
操作窗口：
直觀的操作界面的設計，簡明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶：
單個用戶可以根據常用功能設置相應的圖標，營造快捷的操作環境。用戶登錄時，即可加載已注冊過的設定。
同時顯示兩幅圖像：
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像?？赏瑫r觀察樣品的形貌和組成分布。
微細結構測量：
適合于多種測量功能?？稍谟^察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像，保存在文件中。
標準的全對中樣品臺，能收錄三維照片
3D Sight（選配件），能夠進行平面測量和高度測量，實現立體俯視圖。
從圖像觀察到元素分析，配合連貫
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監視器，一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
維護簡便：
工廠預置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長期保持穩定的性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。
可信賴的真空系統:
真空系統使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態。擴散泵內部無活動部件，體現了操作穩定，維護簡便的特色。
日本電子掃描電子顯微鏡JSM-6510A/ JSM-6510LA型的JSM-6510規格
| 保證分辨率 | 3.0nm（30kV）
8.0nm（3kV）
15nm（1kV） |
| 放大倍數 | 5至300,000x |
| 加速電壓 | 0.5kV至30kV |
| 電子槍 | 工廠預對中燈絲 |
| 聚光鏡 | 變焦聚光鏡 |
| 物鏡 | 錐形物鏡 |
| 樣品臺 | 全對中樣品臺 |
| X-Y | 80mm-40mm |
| Z | 5mm至48mm |
| 旋轉 | 360° |
| 傾斜 | －10°至＋90° |
| 排氣系統
（高真空模式） | DPx1，RPx1 |
| 排氣系統
（低真空模式） | DPx1，RPx2 |
