激光干涉儀ZLM 900-3D	PXI數據處理器激光干涉儀ZLM900-3D	光學鏡頭ZLM 900-3D

世界范圍內，同類產品中效率zui高的干涉儀。

• 三軸外差式微振動檢測激光干涉儀，用于位移、俯仰角和偏擺角的三角關系測量
• 高靈活性調整模塊，適用于所有數控機床的參數的測量
• 動態測量zui大速度4m/s，實時顯示三個軸的測量數據
• 小型反射鏡，帶有磁性固定裝置
• 適用于筆記本電腦、PCI和PXI中線，與網絡兼容
• 位移測量標準分辨率為1nm，角度測量分辨率為0.01"
• 使用高精度溫度傳感器，系統精度可達50nm/m
• 可拓展為6軸測量
• 外部觸發zui大頻率為40MHz快速調整也適用于3D
• 所有3軸實時數據測量，無延時
• zui多可擴展到6軸
• 小型反射鏡
• 外部zui大觸發頻率40MHz