TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水機維修

半導體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置，屬于生產過程中的溫控設備。在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術，并采用變頻控制及兩級閉環節能控制，顯著地提高了Chiller的穩定性、控制精度和響應速度。

應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制，高效節能
兩級閉環節能控制

應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制，高效節能
兩級閉環節能控制

應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制，高效節能
兩級閉環節能控制

TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水機維修 應用領域

激光加工、印刷設備、清潔設備、焊接設備、高分析儀、LCD制造設備、模具溫調、高頻感應加熱設備、X射線（數字式）設備等

zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller

溫度范圍：-20°C~+90°C

控溫精度：±0.1℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

半導體冷卻裝置Chiller是專為半導體、元器件、芯片等產品的高低溫溫度模擬測試而設計的控溫設備，在生產流程中發揮著至關重要的作用。該裝置運用PID控制算法和自適應控溫技術，其核心組件包括熱交換器、循環泵以及壓縮機等，確保了溫度控制的精確與穩定。