PVA TEPLA / TECHNICS 300 AUTOLOAD PC刻蝕機(jī)，2007年設(shè)備，可對6-8英寸的晶圓進(jìn)行蝕刻工藝加工處理

制造商:PVA TEPLA / TECHNICS

型號:300 AUTOLOAD PC

類別:ETCHERS / ASHERS

年份:2007

晶圓尺寸:6"-8"

設(shè)備詳細(xì)信息:

微波等離子批處理系統(tǒng)，6"-8"

當(dāng)前配置用于 6"

PC 控制器

批量大?。?25) 每個負(fù)載的晶圓

陶瓷腔室（φ x 深度）：9.6" x 15"

微波頻率：2.45 GHz

功率：1000 W

( 4) 氣體通道

MFC 校準(zhǔn) N2

1000 SCCM

MKS Baratron 電容壓力計(jì)