*納米測(cè)量工具助推缺陷分析和大型樣品研究

作為一位缺陷分析工程師，你的任務(wù)是提供結(jié)果。而你的儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。ParkNX20，這架*精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和硬盤(pán)行業(yè)中大受贊揚(yáng)。

更為強(qiáng)大的缺陷分析解決方案

ParkNX20具備有一無(wú)二的功能，可輕易找出儀器缺陷的原因并幫助制定更多創(chuàng)意的解決方案。****的精密度為你帶來(lái)高分辨率數(shù)據(jù)，讓你能夠更加專(zhuān)注于工作。與此同時(shí)，TrueNon-Contact™(真正非接觸)掃描模式讓探針**更鋒利、更耐久，無(wú)需為頻繁更換而耗費(fèi)大量的時(shí)間和**。

操作簡(jiǎn)單，入門(mén)級(jí)工程師的福音

Park NX20擁有業(yè)界*為友好的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無(wú)需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也無(wú)需為此時(shí)時(shí)監(jiān)督初級(jí)工程師。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更為專(zhuān)注于解決更為重大的問(wèn)題并為客戶(hù)提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析。

技術(shù)信息：

三維結(jié)構(gòu)研究的側(cè)壁測(cè)量

NX20的**構(gòu)造讓您可以檢測(cè)樣品的側(cè)壁和表面，并測(cè)量角度。眾多的功能和用途正是您的**性研究和深刻洞察力所需的。

表面粗糙度測(cè)量 - 媒介和基體

表面粗糙度測(cè)量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來(lái)**的缺陷分析和質(zhì)量保證。

高分辨率電性掃描模式

*快的掃描式電容顯微鏡

無(wú)橫向摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡

True Sample Topography™(真正樣品掃描），讓壓電蠕變無(wú)影蹤

我們的原子力顯微鏡配有*有效的低噪聲Z軸探測(cè)器，寬噪音帶寬僅有0.02nm。這能夠帶來(lái)超**樣品形貌，不受沿過(guò)沖影響，且無(wú)需校準(zhǔn)。這僅僅是Park原子力顯微鏡為您節(jié)省時(shí)間和帶來(lái)更好數(shù)據(jù)的方式之一。

技術(shù)特點(diǎn)：

二維柔性導(dǎo)引掃描器，超大的100μm x 100 μm掃描范圍

XY軸掃描器含有對(duì)稱(chēng)的二維柔性和高強(qiáng)度壓電疊堆，可在保持平面外運(yùn)動(dòng)*少的情況下，實(shí)現(xiàn)高正交運(yùn)動(dòng)以及納米級(jí)樣品掃描下的高響應(yīng)度。

低噪聲位置傳感器

行業(yè)*的低噪聲Z軸探測(cè)器替代Z電壓，作為樣貌信號(hào)。此外，低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

步進(jìn)掃描自動(dòng)化

借助電動(dòng)樣品臺(tái)，步進(jìn)掃描模式能夠允許用戶(hù)自行編程多區(qū)域成像。在重復(fù)成像過(guò)程中，該自動(dòng)化功能可減少用戶(hù)的工作，從而提高生產(chǎn)力。

滑動(dòng)連接超輻射發(fā)光二極管(SLD)鏡頭自動(dòng)裝卸

燕尾式軌道設(shè)計(jì)，輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設(shè)計(jì)可將鏡頭自動(dòng)鎖定至預(yù)對(duì)準(zhǔn)的位置，并將其連接至控制電子元件，而重復(fù)定位精度只有幾微米。借助超輻射發(fā)光二極管(SLD)的低相干性，顯微鏡可**成像高度反光表面和精密測(cè)量pico-Newton力對(duì)距光譜。此外，超輻射發(fā)光二極管的波長(zhǎng)也解決了干擾問(wèn)題，讓用戶(hù)可隨意在可見(jiàn)光譜實(shí)驗(yàn)中使用原子力顯微鏡。

上等掃描探針顯微鏡模式和選項(xiàng)擴(kuò)展槽

只需要將可選模塊插入擴(kuò)展槽，您便可激活上等掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)，其產(chǎn)品線產(chǎn)品的兼容性大大提高。

高速24位數(shù)字電子控制器

所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進(jìn)行控制和處理。該控制器為一個(gè)全數(shù)字、24位高速電子單元，能夠確保ParkTrue Non-Contact^TM模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理單元，該控制器是納米級(jí)成像和**電壓電流測(cè)量的較佳選擇。嵌入式數(shù)字信號(hào)處理為原子力顯微鏡帶來(lái)更為豐富的功能，進(jìn)一步提升性?xún)r(jià)比，是上等研究員的*佳選擇。

XY和Z軸探測(cè)器的24位信號(hào)解決方案

XY軸(50μm)的分辨率為0.003nm

Z軸(15 μm)的分辨率為0.001nm

嵌入式數(shù)字信號(hào)處理功能

三通道靈活數(shù)字鎖相·彈簧常數(shù)校正（熱測(cè)法）

數(shù)字Q控制

集成式信號(hào)端口

專(zhuān)用可編程信號(hào)輸入/輸出端口

7個(gè)輸入端口和3個(gè)輸出端口

高速Z軸掃描器，掃描范圍達(dá)15 μm

借助高強(qiáng)度壓電疊堆和柔性結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)Z軸掃描器的共振頻率高達(dá)9 kHz以上（一般為10.5kHz）且探針的Z軸移動(dòng)速率不低于48mm/秒，讓信息反饋更為準(zhǔn)確。*大Z軸掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的15 μm擴(kuò)展至40μm（可選購(gòu)的遠(yuǎn)距離Z軸掃描器）。

電動(dòng)XY軸樣品臺(tái)，可選配編碼器

在電動(dòng)樣品臺(tái)上加裝編碼器，可保證更高的重復(fù)定位精度，讓樣品定位更為準(zhǔn)確。在配備編碼器后，XY軸樣品臺(tái)的行程精度低至1 μm且重復(fù)定位精度低至2 μm，而Z軸樣品臺(tái)的行程精度和重復(fù)定位精度分別為0.1μm和1 μm。

可更換式樣品架

借助*的鏡頭設(shè)計(jì)，用戶(hù)可從側(cè)面操作樣品和探針。根據(jù)XY軸樣品臺(tái)所設(shè)定的行程范圍，用戶(hù)在樣品臺(tái)上可防止的*大樣品體積為直徑150mm x 20 mm或直徑200mm x 20 mm。

直視同軸高倍顯微鏡，集成LED照明

定制物鏡配有超長(zhǎng)工作距離（51 mm，0.21的數(shù)值孔徑，1.0μm的分辨率），帶來(lái)****的鏡頭清晰度。直視同軸設(shè)計(jì)讓用戶(hù)可輕易地在樣品表面找尋目標(biāo)區(qū)域。為了達(dá)到更高的分辨率，我們采用了EL20x長(zhǎng)行程物鏡，且工作距離為20 mm，數(shù)值孔徑為0.42，分辨率為0.7μm。得益于CCD的大體積傳感器，樣品視角更寬，但分辨率卻不受影響。由軟件控制的LED光源能為樣品表面提供足夠的照明，以便清晰觀察樣品。

垂直配向的電動(dòng)Z軸樣品臺(tái)和聚焦樣品臺(tái)

Z軸樣品臺(tái)和聚焦樣品臺(tái)與懸臂連接，得以操控樣品表面，且同時(shí)能夠保證用戶(hù)有著清晰的視野。此外，得益于聚焦樣品臺(tái)為電動(dòng)且可軟件控制，因此精密度可適用于透明樣品和液體單元應(yīng)用。