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EBIC掃描電鏡電子束感生電流放大器及成像系統(tǒng)

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更新時間：2023-03-06 17:50:14瀏覽次數(shù)：89次

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產(chǎn)品簡介

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　　Deben旗下KED出品的EBIC，是一款樣品電流和電子束感生電流測量放大器，可進行吸收電流測量、吸收電流成像和電子束感生電流成像，可用偏壓樣品。執(zhí)行EBIC成像所需的設備是掃描電子顯微鏡、EBIC放大器和電真空饋通。從電子束注入的電子打破半導體均衡狀態(tài)，產(chǎn)生電子/空穴對，EBIC信號主要是從嵌入的擴散層(晶體管和二極管)產(chǎn)生，通過放大電子束產(chǎn)生的感生電流或電壓，便可由該效應形成SEM監(jiān)視圖像。

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