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日立高新高分辨環境透射電鏡H-9500產品簡介

日立高新高分辨環境透射電鏡H-9500
在精細加工技術已進入到亞納米級水平的半導體，*材料的研發領域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，*的工具。
為了滿足這種需求，日立*公司研發出了 H-9500透射電子顯微鏡，此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實地驗證過的各種性能，而且配置了很多滿足客戶多種需求的*功能，并采用了數字技術，便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結構信息。

用戶友好型的操作系統
和Windows®兼容的圖形用戶界面設計
快速的樣品分析，1分鐘換樣，5分鐘內升高壓至(300 kV)
高穩定性，高分辨率透射電子顯微鏡
點分辨率為0.18 nm，晶格分辨率為0.1 nm
穩定可靠的5軸優中心測角臺
性能優異，可靠性高
性能優異，可靠性高
得到市場驗證的10級加速器電子槍設計
阻抗式高壓電纜設計
可選附件
可選附件
通用樣品桿，在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系統均可使用
可為原子分辨率的動態研究提供加熱，冷卻和氣體注入等多種樣品桿
備注：FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。

規格

項目		說明
分辨率		0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(點分辨率)
加速電壓		300kV、200kV1、100kV1
放大倍率	連續放大模式	1,000～1,500,000×
	選區模式	4,000～500,000×
	低倍模式	200～500×
電子槍	燈絲	LaB6(六硼化鑭燈絲，直流加熱)
	燈絲交換	自動升降式電子槍
	高壓電纜	阻抗電纜
照射系統	透鏡	四級透鏡
	聚光鏡光闌	4孔可變
	探針尺寸	微米束模式：0.05 - 0.2 μm(4級) 納米束模式：1 - 10 nm(4級)
	電子束傾斜	±3°
成像系統	透鏡	五級透鏡
	聚焦	圖像搖擺調整利用像散監視器進行正焦補償聚焦優化
	物鏡光闌	4孔可變光闌
	選區光闌	4孔可變光闌
電子衍射		選區電子衍射納米探針電子衍射會聚束電子衍射
相機長度		250 - 3,000 mm
樣品室	樣品臺	5軸優中心海帕測角臺
	樣品尺寸	3mmΦ
	樣品位置追蹤	X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm通過CPU控制馬達驅動
	樣品位置顯示	自動驅動，自動跟蹤
	樣品傾斜	α = ±15°, β = ±15°(日立雙傾樣品臺*2)
	防污染	冷阱
	烘烤功能	中溫烘烤功能
觀察室	熒光屏	主屏：110 mmΦ 聚焦屏：30 mmΦ
觀察室	目鏡	7.5×
照相室	區域選擇	整張照相/半張曝光
照相室	膠片	25張(2套膠片盒)
圖形用戶界面	操作系統	Windows XP
	顯示器	19英寸顯示器
	功能	數據庫，測量，圖像處理
數碼CCD 相機*3	相機耦合	透鏡耦合
	有效像素	1,024 × 1,024 像素
	A/D 分辨率	12位
真空系統	電子槍	離子泵：60 L/s
	鏡筒	渦輪分子泵：260 L/s
	觀察室/照相室	擴散泵：280 L/s 前級泵：135 L/min × 3臺