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二手現(xiàn)貨ASML ARF光刻機 XT:1700Fi
二手現(xiàn)貨Nikon ARF光刻機NSR-S220D
二手尼康Nikon 14年產 ARF浸入式光刻機 NSR-S630D
NSR-S621D 已開發(fā)用于大批量制造 22 nm 工藝節(jié)點(能夠通過進一步提高久經(jīng)考驗的 NSR-S620D 的精度和生產率來處理雙圖案*1 )。尼康計劃將 NSR-S621D 定位為其旗艦工具并擴大銷售。
Nikon ArF浸沒式光刻機NSR-S621D經(jīng)過驗證的Streamlign平臺,實現(xiàn)了2nm的疊印精度和200wph的吞吐量,并在硬件和軟件方面進一步改進,為客戶的生產線提供和高效的解決方案。
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