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當前位置:青島佳鼎分析儀器有限公司>>光刻機>> 二手Nikon arf光刻機S635E
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更新時間:2023-02-26 14:49:56瀏覽次數:217次
二手現貨ASML ARF光刻機 XT:1700Fi
二手現貨Nikon ARF光刻機NSR-S220D
二手Nikon arf光刻機S635E
二手Nikon ArF浸入式掃描 光刻機NSR-S631E
二手尼康Nikon 14年產 ARF浸入式光刻機 NSR-S630D
詳情介紹
NSR-S635EArF浸入式光刻機,集成內聯對準站(iAS),用于大容量5nm節點應用程序制造。采用流型平臺效率,NSR-S635E在2.1nmMMO下提供了更好的覆蓋精度,同時提供了超過275WPH(96次)的顯著吞吐量。
NSR-S635EArF浸入式光刻機對準站對所有晶圓進行高速、超精確的測量,然后在不降低光刻系統吞吐量的情況下糾正有問題的網格誤差。iAS能夠對晶圓片上的所有鏡頭進行全面、多點對齊,實現顯著的疊加改進,以及限度的掃描儀吞吐量。
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